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真空镀膜机的原理及故障分析& `' y4 |- t* W" Z a6 M5 @
陈敏 王存华2 X9 `9 E* K3 B0 f
(南京电子器件研究所 南京 ) : C. }% \5 I' L/ R7 P: o0 N( c
2002年4月
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& ?$ v3 C6 w+ [5 N# |/ U摘要:真空镀膜设备是电子工业元器件生产和研制过程中广泛使用的设备,本文就DMF-700电子束真空镀膜设备在实际工作中出现的主要故障进行分析,并给出故障排查的方法。' y) A! B! }& {5 e
1 y, [8 P7 M, }8 M: T
关键词：真空镀膜 高压电源 维修
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% Q. ~) f: H9 h% o中图分类号：TN305.8 文献标识码:A- j9 ?7 V) s# a/ R8 Y, N, j
文章编号:1005-488x(2002)02-0114-05 |
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发表于 2007-11-4 11:54:37
