真空泵的选择

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真空泵的选择

选用真空泵时，需要注意下列事项：    1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
    2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。
. g8 _* ?! q8 W& y+ I$ C$ R$ s    3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
0 y/ d& m" ?3 H    4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
2 E4 S6 e  m' g6 R& b    5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。
+ M0 L+ }  ^. `2 a# r0 ]1 d    6、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。
    7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。
    8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
( Y5 H4 C3 E6 }/ g( `; H    9、真空泵的价格、运转及维修费用。
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水环式真空泵的选择

一、泵类型的确定
; \7 j* `1 y. r' E/ g; `) V3 X　　泵的类型主要由工作所需的气量、真空度或排气压力而定。
- ?  D$ D8 I# Z# }9 l　　泵工作时，需要注意以下两个方面：
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• 尽可能要求在高效区内，也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。
• 应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行。在此区域内运行，不仅效率极低，而且工作很不稳定，易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言，在此区域之内运行，往往还会发生汽蚀现象，产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏，以致泵无法工作。

　　根据以上原则，当泵所需的真空度或气体压力不高时，可优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压力较高，单级泵往往不能满足，或者，要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量，即要求性能曲线在较高真空度时较平坦，可选用两级泵。如果真空度要求在－710mmHg以上，可选用水环－大气泵或水环－罗茨真空机组作为抽真空装置。
9 Y4 ~7 f0 d" C- @4 e5 V& g8 L二、根据系统所需的气量选择真空泵
初步选定了泵的类型之后，对于真空泵，还要根据系统所需的气量来选用泵的型号。
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　　面对各种型式的水环式真空泵及压缩机，我们特将其各自特点收集如下，以利于用户选型

代号	主要特点	极限真空度 mmHg 4 I  ~4 Y6 Z( x- C% E	工作真空度 # j6 [8 j4 K/ i# kmmHg : b# c8 O! E4 e7 Z" `	抽速范围 m3/min $ ?  k- g' `% S+ h! g	密封形式
SK 1 @& y; d$ r1 B& V	国内设计单级水环真空泵，结构简单、维修方便。目前国内主流的低真空水环式真空泵。	-700	-300~-650	0.15~120 2 J" u& H) Z" k$ o	盘根、 机械密封 4 {/ W4 H; P: U' v5 ^
2SK . _, \- j) g0 d9 H8 o1 r- Z; y	国内设计双级水环真空泵，相当于两台SK水环泵串联使用，比较单级水环泵具有真空度高及高真空下抽速较大的特点。目前国内主流水环式真空泵。 * v$ t) q) F. O4 O& C	-735	-300~-700 ( X! s. G1 k, d" ?" \# i/ W	1.5~30	盘根、 机械密封
2BV * R7 e9 F8 B+ f2 ^+ y! u	采用西门子先进技术，机泵同轴，结构紧凑，效率高，真空度高，性能稳定，将逐渐替代SK、2SK系列0.4~6m3/min抽速的水环真空泵。 6 j  E! X2 N4 _8 V1 }	-735	-300~-700 - U+ B. j- Q# r7 E! x  O	0.45~8.33 # W$ @. L. _" A; a5 B: i* [	机械密封
2BE1	采用西门子先进技术，效率高，真空度高，性能稳定，将逐渐替代SK、2SK系列6~120m3/min抽速的水环真空泵。 ( p3 q. y' g; s' h5 @) B9 S	-735 -640	-300~-700 -300~-600	5~400	盘根、 / \: `  h* c; n2 ]7 m* R机械密封
SZ	50年代苏联技术，效率低，能耗大，80年代初已被淘汰，主要应用于老用户。	-640~-700   y+ H3 b! E) Q1 c" g/ ]; P, ]	-300~-650	1.5~27	盘根 : G  I$ A% K1 c+ `+ K
SZB $ L; S' c9 X& }* M	50年代苏联技术，效率低，能耗大，80年代初已被淘汰，主要应用于水泵引水，目前已被SK系列水环泵替代。	-600	-300~-550	0.33~0.66 & Y$ E  D' m4 p6 C" f	盘根 % s% u% H7 q) S/ m) l& ~/ q. e1 e
2SY . N  A+ e" `! ?, l1 {- G- e	主要应用于水环压缩机，最大排气压强为0.6MPa ! ~* b$ g( d6 o* d: z	- : s4 {; [( j. A& W* z	- / ?$ O& C* P+ W8 r	6~30 , C5 x3 j! b9 p- q0 l, X9 o( n+ n	机械密封 ; m* i% f( `. v- |. C
2YK	结构基本与2SK系列相同，可以用被抽介质作为工作液，极限真空度随被抽介质的饱合蒸气压而改变。表中极限真空度为工作介质为变压器油时的极限真空度。 : s8 U2 n" x! N* s1 E	-755	-300~-720	1.5~30 * S& D2 w8 W. I9 A. R	机械密封

xysun2006

谢谢，感谢楼主分享啊！