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高功率紫外激光切割铜薄膜的实验研究3
$ S, a, x5 K! Y1 G/ {1 K8 p* Y阳建华 张 帅 陈继民
8 S; y( G E4 v; L# @(北京工业大学激光工程研究院 北京100022)- W) Q9 b, S/ |% u/ g- l
提要 通过改变气氛条件及加工工艺参数,研究高功率紫外激光切割铜薄膜的切割性能及影响因素,并且利用正交实验
. g9 v$ ^/ t/ M# S2 M设计的方法,确定了影响切缝宽度和切割质量的主次因素。在实验的基础上,成功的利用高功率三倍频紫外激光制作出高质( a1 O* J! N/ k; w6 [6 S* k3 S! a
量的铜质薄膜器件。. r: Z# N+ Y4 I6 }7 S2 S) w1 Y/ b
关键词 紫外激光 微加工 掩膜 激光切割 |
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发表于 2006-10-8 19:55:56
