超精密齿轮齿距累积总偏差测量装置的改进及测量系统的设计

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范烁,王立鼎,马勇
4 i; o% Y% p( O7 @9 R- Y(大连理工大学微系统中心大连116024)
3 ]9 i5 m( q# O$ v. I( R1 V" \' C: n摘要：根据齿轮齿距累积总偏差的定义，对相对测量法和绝对测量法特点进行比较，指出各自测量方法
/ @" |3 d* P" }5 y的适用范围。遵循测量原理并采用高精度的元器件搭建了绝对测量法检测超精密齿轮齿距偏差的测量平
台，着重对齿轮安装芯轴径向跳动量和端面跳动量进行精调与误差测量，以满足测量1～2 级超精密齿轮
齿距累积总偏差的精度要求；还介绍了通过Visual Basic 语言编制的齿距偏差测量系统的主要设计思路和
; ]4 }( `5 i4 k功能。
) d  _0 k: @' U1 F: U1 q关键词：超精密齿轮齿距累积总偏差绝对测量法芯轴径向跳动量
中图分类号：TG8

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，想要看可惜流量不够