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发表于 2009-11-5 12:42:23
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MIL-O-13830A
: O! y( V. k: B% u, F% W% b5 q
2 {6 `8 a N0 }. ]( P美军标关于光学表面疵病的说明
* L6 c0 a' i; }" C' M8 i' d7 e" P
: l( F' `; ]: \8 L& Y$ o- M: U" x
" n6 n3 y9 W: w: T
一.定义:
8 }7 m Z# u! Q5 @7 g
+ g# F7 z" L# g. a/ D表面缺陷标准:依据美国军用标准MIL-PRF-13830B用两组数字表示表面缺陷大小。例如40/20(或40-20)前者限制划痕大小,后者限制麻点大小。 - ~0 n! \, e* x5 r
' A( b# c. F' O6 _
道子、亮路都统称为划痕。 2 z# \3 Q( u+ g% f* n
. H: j! G0 x4 _9 \. \4 I
斑点、坑点、点子 都称为麻点。 % h: q0 n/ X) a- K
" _8 ]; N {' z4 q
规定长与宽的比大于4:1的为划痕;长与宽的比小于4:1的为麻点。
7 C: s% Y& z3 x7 ^& z* W, S
* c! {$ Q; [/ ?, `. u
4 ?( }, S! |, @, k9 z# J- i2 Z5 }8 \6 l4 z; g: h, K! a
当元件的不同区域表面光洁度要求不一样时,等效直径的计算以区域进行:表面质量要求高的内区域其等效直径以内区域为准(如有效孔径的区域),表面质量要求低的外区域计算的是整体元件的等效直径。 + m# n( o- s& s. v2 k
% x( y& k$ ^% h " V' s) b0 B2 n! g4 Q6 O
3 m" s3 P+ ]8 E, M" \
§美军标规定对于非圆形元件其直径取相等面积圆的直径。% g8 X0 g" R7 O) t% q$ w' `7 X
8 X' z g( U6 j; s; D
! v( D, U- Q, I8 Z- @5 J
# U4 a- c1 L& a( X* T4 q5 D
划痕: " ^8 u. r0 Y/ H
/ S* r' q: u: _: Z. W6 I' H以美国军用标准《MIL-O-13830》的表面质量划痕样板作为各级数划痕的比对标准。(注意:美军标未指明划痕的计量单位也即未确定划痕的宽度和深度,只能以实际观察样版为标准。) 2 J I5 r0 Y7 Q
+ l4 U# t! @3 |$ |1 {4 T3 [) X这里的划痕级数就是通常的划痕号数,标准样版有10#、20#、40#、60#、80# 5个级。
) \' ~! B8 H, _: f- d1 v6 I0 w1 G6 M: ~: E* ]. y
5 l' m' L. p- O# M4 L
$ J9 O7 u$ F8 h Q5 J, I( i§SC-QA027表面质量标准共有7条划痕判定标准,前5条是美军标的规定,后两条是公司内控标准。以下逐条讲解:) I( P7 q8 S) D3 r3 f6 ]
% s# n- Z0 I2 b
1 f4 U+ \& h+ k8 v9 L# `# t5 `2 |. I" r/ u# Q+ a" n9 ]( D
1.当元件的划痕级数超过表面质量要求的划痕级数时,元件不合格。 9 _; D( }- P/ B. N6 H
0 y" h+ p7 I: u1 l) `+ J8 X
例如:元件的表面质量要求为60—40,则代表元件的划痕必须≤60#,如果元件有>60#的划痕,则元件不合格。
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* X& b- {4 u0 C( g( T; P9 p
6 N% H' L1 U: J3 N9 }
8 {2 D" t8 [2 R1 K# _5 R# G* w8 i$ ]2.当元件的划痕级数未超过表面质量要求的级数,但元件存在最大划痕时,所有最大划痕的长度之和应不超过元件直径的1/4。 * L" |% v# J' }8 Y; k
6 P# b- u6 Y: I/ S4 M" Q
例如:有一长30mm宽10mm的元件,元件的表面质量要求为60—40,有2条60#长为3 mm划痕。
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6 x' b& V! t( Z: l. G' f, m. i 它的等效直径为20mm & M" c' Q9 V- [: D
: f; {$ l3 |" s1 a 1/4D为1/4×20=5mm
7 [2 W1 N. O" ~; D, p) Q( y5 g' a' X: R$ ^3 H Y( B
最大划痕的长度和为:
, A, K9 B: a C) I5 ^$ D- |3 V5 }8 ~6 O2 |+ N7 d5 d9 M, M
3mm+3mm=6mm
. y, M' W# s& j6 J( @
3 B- L7 C7 r/ `- u6 ?% c* m 6mm>5mm元件最大划痕的长度和超过元件直径的1/4。所以元件不合格。 8 f5 [% S$ {; U, C
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8 @; E+ K2 x" Y; Z$ w/ N
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3.当元件存在最大划痕,而最大划痕的长度之和未超过1/4D,要求所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和,不得超过最大划痕级数的一半。
4 t6 L+ \0 ]9 K' {1 Q
t M+ t m# o/ p! @- N$ B7 l例:有一长30mm宽10mm的元件,元件的表面质量要求为60—40,元件上有2条2mm的60#划痕,3条4mm的40#划痕。 ( }% }2 M) `+ j- N7 ^$ y- W- q) t
1 O4 K/ Y& c! ~0 w8 l 它的等效直径为20mm . M: b, ?; a2 s" q
; G3 i/ V) y( q, L
1/4D为1/4×20=5mm 9 @5 w w. _% y
+ K! r: Y( d0 V- Q) `- R 最大划痕的长度和为:
& H2 V) K7 I, L* R
1 }8 F3 [/ w% o( }) g8 u 2mm+2mm=4mm 8 s' A. P7 x4 {! ]* c1 d5 q
% J. \0 k9 J2 I! \' r 4mm<5mm。符合2条。
( A# b0 ^) q# k0 ~" `: R- k
# |7 @( [" E* p3 h2 z! i0 Q但所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为: - Z6 O) F) K! n H9 u7 @, o* t
- p& n% G1 a! }1.60#划痕长度为(2+2);40#划痕长度为(4+4+4+4) ) W% @ o0 ?2 Q- ?0 O5 H
I+ q f- c* Y$ J# ]6 c/ k
2.60#划痕乘以划痕长度与元件直径之比为60×(2+2)/20;
+ S) C- E. X, Q8 W2 \7 T0 u
6 `( d6 `/ b! O- O: g) ?( n) K! A8 E 40#划痕乘以划痕长度与元件直径之比为40×(4+4+4+4)/20 / E* U6 i) C6 U5 [& D
' {+ {2 `' s7 Q& i: s4 ?4 c3.所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为: 4 A* v6 H+ f; W/ ]+ D% _0 g
5 U. O2 ~ K' j. T0 U w
[60×(2+2)/20]+[40×(4+4+4+4)/20=36
4 F* \! X% [7 `+ _3 W0 L) A4 Q- A8 Z5 _* g, Z9 V$ b
元件最大划痕级数为60;60的一半为60/2=30)36>30;因此,元件不合格。" @7 [7 X: v& N' o7 k1 Z. \1 w# r3 ~
. {$ U2 r% W0 v& d) H3 i
8 a; U% h3 D L U) Q. m; u0 b: J# I
4.当元件的划痕级数未超过表面质量要求的级数,且元件不存在最大划痕时,所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和,不得超过最大划痕级数。
- Q, L- v- U Z9 q) f: H7 ^% x3 k9 d$ u! H
例①:元件为Æ10,表面质量指标60—40,有2条50#划痕2mm,1条40#划痕3mm,另2条40#划痕2mm,2条20#划痕2mm,10#划痕长度合计10 mm。 2 i( H' a2 j6 u) R3 r
) u1 b# }# J- B F. q所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为:
& `* C0 D& e$ @( X
' X/ t9 |: Q( U! c* F j" u: `' r[50×(2+2)/10]+[40×(3+2+2)/10]+[20×(2+2)/10]+[10×10/10]=66 . L% V+ y$ U) V) x2 Q, m+ {) O/ y! g
5 u& O( k7 ?8 S+ D" ]- @# p2 N元件最大划痕为60# 66>60;因此,元件不合格。 ! J$ G/ [" K* U1 t* Z$ k
" D: N9 J( Y0 ~" N
/ c& P( }, b6 J
+ s. l8 R% i" `# x) \9 p. Y5.当元件质量指标要求划痕等级为20或优于此等级时,元件表面不准有密集划痕即在元件中任何一个Æ6.35mm面积的区域,不允许有4条或4条以上的大等于10#划痕。 . U9 p% l' h& s8 r, @4 n. m
" `. ]' P7 ^& i
; V9 j+ ~' M8 D4 U4 Y* G' m9 c4 q1 H {, g. H* ?+ ] u
例:表面质量指标为20-10,Æ20mm,
1 d7 d6 J0 k* d& H' R. r
3 y4 a, r4 U% ?2 j$ I5 [在如图(1)所示的区或有2条长1mm 0 q5 r- b" C* L: ]
3 L. U/ A# q1 F8 W [% g和2条长0.5mm的10#划痕。
+ n2 b' L1 A& A U8 \; F. }; U! U5 i# y* ?) t
它符合5.1.1;5.1.4 (无需考虑5.1.2;5.1.3) ( W! P) `' V2 O' w- N. i" l7 u
$ j- M6 L+ ^0 _/ M但它不符合5.1.5条。元件不合格。 & d' g7 S# U ^9 X
$ B' r; l, K% n& I( ~/ a& d+ E
6 b3 C. V; {# h4 E, i/ V3 M9 O- b; p) Y; h% r
6.对于圆形元件不允许有20#级数以上与直径相等的划痕。对于方形元件不允许有20#级数以上贯穿元件的划痕。
]4 h! Y- E0 x7 F" @0 L
7 Y, t- Q! m( e 2 u! Z; A: j' u% Z5 e
) I1 v/ p6 M! u1 E7 B7 x" r- i/ u
麻点:
4 {. a: o! B' J" k* v8 S" g# G, ?% M5 S {" E$ T; ^0 U
依据美国军用标准MIL-PRF-13830B麻点的级数取允许缺陷的实际直径,规定以1/100mm作为计量单位。如果麻点形状不规则。则应取最大长度和最大宽度的平均值作为直径。
$ y3 g4 N- G1 ^8 v- |! [3 M/ Z7 k; L4 M, D
(注意:美军标的麻点与划痕不同,麻点是可计量的也即麻点的大小是确定的,50#麻点也即直径D=0.5mm的麻点)
4 u& R! @0 W0 `0 o
& [! e U0 ]( {0 w & P) d( b1 ]5 @% Z E0 I o1 A) x
! W& D6 R$ V" P: ?/ S/ r* z& g! M7 R
1.当元件存在超过表面质量要求的麻点级数时,元件不合格。
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, y/ P0 v* \1 ]3 B3 z0 [例:元件为Æ20mm,质量指标要求为60—40,元件有1个直径0.5mm的麻点 50>40元件不合格。
. M/ T* n# I2 O! @0 }# V7 ^& t1 `' i3 `3 G1 \$ ]9 w8 t# f! @
6 K9 i7 t9 r) `& }4 x' o: L
- {, U/ K% n1 Z8 D2.每20mm直径上只允许有1个最大麻点。 , w' d* a, _ q E5 A
) ~: G7 G9 h; M |" c
例:元件为Æ20mm,质量指标要求为60—40,元件有2个直径0.4mm的麻点元件不合格 # Z/ _& i3 ]1 W3 y, b% z9 a% s
' j( Z& d8 ~* k# h& a- }- n
* J5 a0 F; y) G8 \5 q3 W$ r' H3 D a. @" d: ?
3.每20mm直径上所有麻点直径的总和不得超过最大麻点的2倍 r. V. S0 o) \6 w8 u: S1 w/ m
6 K: o6 c$ D7 s! n8 r( ^: Y
例: 40mm×40mm的元件,质量指标要求为60-40,其中一个Æ20mm的区域有40#点子一个,20#点子一个,10#点子一个,同时在另一个Æ20mm区域中,20#点子2个,10#点子4个,5#点子1个。
6 ]- H3 S3 m+ s. ?% r X5 F8 K) U2 p9 s( s) O' K) B3 X, R
5 J' i$ s1 Y/ f: D# S
. N8 b; [6 [7 A* a# n! h§4.当麻点质量要求为10或更优等级时,任何两个麻点的间距必须大于1mm7 n# _" E) j+ B# t0 K z' O
1 e9 W8 {" {) K. T6 a/ ]
: `8 |% W& b/ f* d! k0 Z
' Y- _& U+ J+ K. s例:元件40mm×40mm的元件,
% b* M( ~- [# n- D/ ]# r" V/ s) H$ Z* ]: ^- @7 E
质量指标要求为20-10, $ l1 Y, z7 A- @! P1 p
3 z3 {2 |3 i5 t' g$ x有两个5#的点子,点子 % b" k. J# v- L" U; F- {& m% j
! t; ]0 f; B6 O. ~4 P; \之间的距离为0.8mm. ; m& l4 k; |$ H3 q e9 h8 Y
! l$ t2 S" |5 A+ d+ f3 ^' R& ?
0.8mm<1mm元件不合格
! y0 J3 B. E0 d" ~% ?: \. I$ M0 ^$ ]3 z; ]( V. h/ M; x
1 V. z7 l1 U v% ]1 B S
5 `' E- |( ]* P& J: y; J- T
§5.小于2.5um的麻点略去不计。
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& e! a0 [; |4 Q 6 T; O) b! e9 h& p% N" Y! S
2 \. K9 b5 V! C7 l3 `0 r2 A& Y§6. 当出现如图所示密集麻点时以麻点聚集的外围圈径为麻点大小& @ n! \) k( K1 g8 I" `& O G
2 ]8 g, U9 w9 A+ S2 M 4 U8 P, _/ H/ ?# K/ q
5 S; j. g- }/ v, u7 m§气泡和包络:包络当作气泡考虑。
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, ^* ]) v( t5 q7 x' N6 e, D
依据美国军用标准MIL-PRF-13830B气泡的级数与麻点一样,单位也相同。不规则气泡直也是取最大宽度和长度的平均值。
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; A& J0 l, C5 x: q% t: c+ c8 `气泡的允许值与麻点相同。但气泡和包络必须与麻点区分开来,单独评价。 |
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