真空镀膜设备维护与维修

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　　真空镀膜设备有多种规格的单室机和多室连续机。工艺方法上可分为：真空蒸镀、离子镀、溅射镀、束流沉积镀以及分子束外延等。真空镀膜设备的运行状况直接影响生产工艺、产品质量和生产进程等，为了使设备的运行状况良好，必须建立和完善设备的维护与维修制度、维护内容、维修标准等。
　　一、维护与维修制度，为了使真空镀膜设备在维护、维修及生产过程中出现问题能得到及时收集、传递、分析和处理而制定的管理制度。
& c" w, C8 L/ \   1.有完善的制度如设备的使用操作规程。维修人员在维修时应挂放正在维修牌，并切断电源以防他人使用机器设备等。
  E% U) a+ U* E" y+ u   2.在工厂生产管理中设备的维护与维修是重要的一方面。应该有专职的、能力强的维修人员负责。
3 k& F+ A7 O$ T- @　　二、设备的维护，维护可分为：日常维护和定期维护。
  1.日常维护就是在当天生产中发现设备有不良迹象，就马上解决。发现机械泵的油少了就要添加，不要认为这油是定期更换的，等到了时间在维护，可能泵的转子就会磨损严重了。再比如工件转架的轴承有些卡，就要更换轴承，而等到它彻底的坏了再换，问题可就大了，可能引起转架电机烧毁等。
0 g& g, @/ B8 s  2.定期维护，有人会问有了日常维护还有必要定期维护吗？其实每一种设备都有自己使用寿命，比如扩散泵用的硅油使用寿命为2年左右，我就规定1年半就把它换掉，这样做是不是浪费，我觉的不浪费，从设备服务于生产来说是值得的，老板最不希望看到的是机器在生产阶段出现问题。只要你把日常维护和定期维护做好了，在延长设备寿命的同时，生产过程中出现故障的几率也大大降低，生产效率也提高了。
# U/ n1 E* j: H! g0 l: h　　三、设备维修：说到维修很多人都头疼的是真空部分的漏气，真空部分出了问题比较麻烦，再加上很多公司没有检漏仪，这就要分阶段来找。真空抽不上去原因可能有以下几点：
* S1 e2 c4 w: e' n/ S  1.也许是漏率偏高就是我们常说的有漏气;
9 J( V7 x! U4 M0 T0 a9 @  2.也许是真空机组的抽气能力不够了，油被污染或氧化了；
! ], Q# k/ R" r$ H  3.也许是真空室内太脏放气;
  4.真空室有漏水;
  5.抽空管道有漏气；
或者是这几种可能都有。出现问题，首先是要判断，是不是拆装过东西？会不会漏水？阀门打开了吗？根据现象判断原因，然后再去根据判断找问题，可能会收到事半功倍的效果。

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设备维护可是个非常繁琐的事情