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蓝宝石衬底的化学机械抛光技术的研究 ?9 Y5 m! M6 ^/ C
王银珍,周圣明,徐 军# j: z9 H a8 h; S
(中国科学院上海光学精密机械研究所,上海201800)) F* u5 D6 B/ H( m5 H
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【摘要】介绍了蓝宝石衬底的化学机械抛光工艺,概述了化学机械抛光原理和设备,讨论分析了影响蓝宝石衬底化学机械抛光的因素,阐述了CMP 的主要发展趋势:能定量确定最佳CMP 工艺,系统地研究CMP 工艺过程参数,建立完善的CMP 理论模型,满足不同的工艺要求和应用领域,有效降低成本,提高产量。4 T. p7 Q `' Q' d1 a; \
【关键词】蓝宝石;衬底;化学机械抛光
6 \$ ]0 A, m, j# b. r1 ~/ K【来源】《人工晶体学报》2004 年6 月 |
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发表于 2008-1-17 19:39:18
