|
|
马上注册，结识高手，享用更多资源，轻松玩转三维网社区。
您需要 登录 才可以下载或查看，没有帐号？注册
x
真空镀膜机的原理及故障分析
8 o" @: e, y2 T" q7 ]; s 陈敏 王存华# k# t6 t1 |- f' Z
(南京电子器件研究所 南京 )
3 M7 H; s7 S" O7 k/ l9 ~7 A 2002年4月$ q0 l: w# B. B# m" d) u( m
2 z( A- Q/ m' k! b- [6 i0 ]
$ M& H( C. g/ Q1 ~2 w5 o* k1 R摘要:真空镀膜设备是电子工业元器件生产和研制过程中广泛使用的设备,本文就DMF-700电子束真空镀膜设备在实际工作中出现的主要故障进行分析,并给出故障排查的方法。# Y; h( g/ U# k1 {
+ R6 ]/ [3 Y2 s0 J
关键词：真空镀膜 高压电源 维修
! B1 t3 c0 q1 j% O1 r# j R1 ?) A' O; E3 ~% r$ Z
中图分类号：TN305.8 文献标识码:A5 s, {: w& l' F, O) |; S. w
文章编号:1005-488x(2002)02-0114-05 |
|
发表于 2007-11-4 11:54:37
