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多晶硅的真空感应熔炼及定向凝固研究, f: b# l9 i' {: X: p$ ~: b
, S& \7 }9 ~5 u! e" D4 Q, J( o 吴亚萍 张剑 高学鹏 李廷举0 T8 v. h5 J8 r) l. p. b# Q4 J2 o
（大连理工大学）5 o" p" b3 l0 T7 n
2 \' h. N" o; r+ N1 l0 A: o; E" L 摘 要：以工业硅为原料进行了多晶硅的真空感应熔炼及定向凝固研究，用自行设计的真空定向凝固设备制备了多晶硅铸锭。金相显微镜观察显示铸锭的显微组织为粗大的柱状晶，经电感耦合等离子体发射光谱仪分析，其纯度由99.50%，提高到99.86%，各种杂质含量都有所减少。
7 E! @9 g0 J, _8 w, t# G% Y7 I- I 关键词：真空感应熔炼；定向凝固；多晶硅' F/ z! {: {# b) u/ y. z" C0 |
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发表于 2007-9-8 10:10:29
