真空泵的选择

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真空泵的选择

7 N  {0 Y  c8 ?$ r* q6 a选用真空泵时，需要注意下列事项：    1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
* |- e3 S! [9 _$ r    2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。
4 k7 e& C, ~$ z7 a# o7 Z    3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
! f0 f4 D7 `, |* a    4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
    5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。
    6、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。
, K2 b' p6 G0 N1 H8 s7 d$ e    7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。
    8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
( s- g2 ~5 o- b    9、真空泵的价格、运转及维修费用。
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水环式真空泵的选择

一、泵类型的确定
5 M3 G  y1 N9 ~6 V  T$ k7 H　　泵的类型主要由工作所需的气量、真空度或排气压力而定。
　　泵工作时，需要注意以下两个方面：

• 尽可能要求在高效区内，也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。
• 应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行。在此区域内运行，不仅效率极低，而且工作很不稳定，易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言，在此区域之内运行，往往还会发生汽蚀现象，产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏，以致泵无法工作。

　　根据以上原则，当泵所需的真空度或气体压力不高时，可优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压力较高，单级泵往往不能满足，或者，要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量，即要求性能曲线在较高真空度时较平坦，可选用两级泵。如果真空度要求在－710mmHg以上，可选用水环－大气泵或水环－罗茨真空机组作为抽真空装置。
二、根据系统所需的气量选择真空泵
! i3 L7 h0 b) n初步选定了泵的类型之后，对于真空泵，还要根据系统所需的气量来选用泵的型号。



　　面对各种型式的水环式真空泵及压缩机，我们特将其各自特点收集如下，以利于用户选型

代号	主要特点 8 ]. p/ n0 m8 N; n# P. O	极限真空度 mmHg ! N7 T$ N. o2 K7 D9 h5 v2 a- V	工作真空度 mmHg 9 q& W, M# b% t7 Y- Z4 P3 D	抽速范围 m3/min	密封形式   J0 K# W- v6 [, L( I
SK 4 B$ T  P8 Q' z	国内设计单级水环真空泵，结构简单、维修方便。目前国内主流的低真空水环式真空泵。   y6 d" @" W( V6 r	-700 ) _4 F8 K5 q) b7 b4 u  ?	-300~-650	0.15~120 ) n; r! e! }+ {6 S4 {* `: D6 O$ z	盘根、 机械密封 . Y* \, t% e9 T/ U
2SK - }( I( ~- V' v! s0 a, o  R/ x% c/ F	国内设计双级水环真空泵，相当于两台SK水环泵串联使用，比较单级水环泵具有真空度高及高真空下抽速较大的特点。目前国内主流水环式真空泵。	-735 ' C8 Q6 \# ~- k	-300~-700 # I' q0 ~& x$ }, Z0 s	1.5~30 ) `. M4 u8 h9 |7 v# |- H; T3 k! P; T# N7 e	盘根、 机械密封 & o4 j) ?6 ~. q; f% e
2BV	采用西门子先进技术，机泵同轴，结构紧凑，效率高，真空度高，性能稳定，将逐渐替代SK、2SK系列0.4~6m3/min抽速的水环真空泵。	-735	-300~-700	0.45~8.33 & o2 \% m1 A6 Q( Z0 k2 F/ C	机械密封
2BE1	采用西门子先进技术，效率高，真空度高，性能稳定，将逐渐替代SK、2SK系列6~120m3/min抽速的水环真空泵。	-735 -640 1 x* V; J& Q! o5 ^	-300~-700 -300~-600	5~400	盘根、 机械密封
SZ $ I* e( _) H- w, ~" p, K( M8 }8 M' K	50年代苏联技术，效率低，能耗大，80年代初已被淘汰，主要应用于老用户。   O9 K& J  E5 [* a$ R	-640~-700 4 ~7 `6 ^6 w# V& j6 s	-300~-650	1.5~27	盘根 7 i7 Y: i8 t) m8 X3 h
SZB	50年代苏联技术，效率低，能耗大，80年代初已被淘汰，主要应用于水泵引水，目前已被SK系列水环泵替代。	-600	-300~-550	0.33~0.66	盘根 # D' r  g6 V* J
2SY	主要应用于水环压缩机，最大排气压强为0.6MPa	-	- * @) {, g$ [6 C* d: [! P	6~30 % G3 _% C6 |) s) M3 G9 ?	机械密封 + A, a. I, M! w
2YK   O: m1 a  u* p* A; G/ i- g8 g	结构基本与2SK系列相同，可以用被抽介质作为工作液，极限真空度随被抽介质的饱合蒸气压而改变。表中极限真空度为工作介质为变压器油时的极限真空度。 & B; Y7 }8 z" R8 z0 i3 _	-755   \0 f+ f$ T6 o; D	-300~-720	1.5~30	机械密封 3 S( t4 ~4 ?) p/ o( |

xysun2006

谢谢，感谢楼主分享啊！