真空泵的选择

z6z6j6

真空泵的选择

选用真空泵时，需要注意下列事项：    1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
" a0 _6 P# [. F# x1 C    2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。
1 S% c/ Z' s6 C9 G. `; H8 z) T    3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
+ J& w) r2 y+ U! R5 e    4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
0 e' ?7 F% z3 V- }5 M0 }    5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。
    6、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。
% y3 h$ P/ K8 [6 \1 L3 v    7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。
    8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
    9、真空泵的价格、运转及维修费用。

水环式真空泵的选择

一、泵类型的确定
% ]0 I9 ?5 V6 x( [6 z　　泵的类型主要由工作所需的气量、真空度或排气压力而定。
- t, F* a) t& L/ S　　泵工作时，需要注意以下两个方面：
; S- M; z/ d/ ^* n; }2 k

• 尽可能要求在高效区内，也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。
• 应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行。在此区域内运行，不仅效率极低，而且工作很不稳定，易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言，在此区域之内运行，往往还会发生汽蚀现象，产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏，以致泵无法工作。

　　根据以上原则，当泵所需的真空度或气体压力不高时，可优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压力较高，单级泵往往不能满足，或者，要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量，即要求性能曲线在较高真空度时较平坦，可选用两级泵。如果真空度要求在－710mmHg以上，可选用水环－大气泵或水环－罗茨真空机组作为抽真空装置。
二、根据系统所需的气量选择真空泵
初步选定了泵的类型之后，对于真空泵，还要根据系统所需的气量来选用泵的型号。



0 h$ p7 ?' a' E, J0 G- d　　面对各种型式的水环式真空泵及压缩机，我们特将其各自特点收集如下，以利于用户选型

代号	主要特点	极限真空度 9 G& K$ V6 s2 M$ D& m7 U$ ommHg	工作真空度 & s% R, t' C8 s/ B2 e$ KmmHg	抽速范围 * u# U5 L, O8 R- km3/min / W' e% j) V7 s: B- H8 ]. O- q* b	密封形式 9 l* y" |: M$ [, B6 V2 R  D# E1 L6 t
SK	国内设计单级水环真空泵，结构简单、维修方便。目前国内主流的低真空水环式真空泵。	-700 7 {& O. m8 \6 r% O: F4 m6 N9 M	-300~-650 8 c  ]5 a6 D2 I( t  A) U9 R" z, ~& Q	0.15~120	盘根、 机械密封 3 \, ]& t' a# J
2SK ' j# A- Q/ N: s  S4 S+ z8 t	国内设计双级水环真空泵，相当于两台SK水环泵串联使用，比较单级水环泵具有真空度高及高真空下抽速较大的特点。目前国内主流水环式真空泵。 0 J' t( A' z+ b! r	-735 ! S/ m# ?8 q) s% U2 t% P	-300~-700 3 c# s' D# Z) _. C9 u	1.5~30 6 y9 Q. }5 O7 q6 X/ s  Y: _0 v	盘根、 机械密封 % X$ x! n( h$ P3 T+ V9 @  \2 [
2BV	采用西门子先进技术，机泵同轴，结构紧凑，效率高，真空度高，性能稳定，将逐渐替代SK、2SK系列0.4~6m3/min抽速的水环真空泵。 1 s- l+ T; \  V1 w	-735 & S& P- N1 a  s$ c  |	-300~-700	0.45~8.33 - e7 T4 `& y- C) |# g	机械密封 1 e' p: G+ P) t+ B! m  w2 T
2BE1 $ o$ E, E6 g# y$ z* j	采用西门子先进技术，效率高，真空度高，性能稳定，将逐渐替代SK、2SK系列6~120m3/min抽速的水环真空泵。 $ g; |) f9 U9 L$ \	-735 # N% E8 y: ?( `-640	-300~-700 -300~-600   x% c: Z, J: I" H1 {0 F	5~400   {9 l- F  s  u) E& H9 _	盘根、 * K! |- |4 Z) O; ]3 C9 G* C& d3 s; J机械密封 6 C2 n1 O: g" @; G- p: [3 j" p
SZ	50年代苏联技术，效率低，能耗大，80年代初已被淘汰，主要应用于老用户。	-640~-700 ' u3 v4 e! k# p: o  y! f3 z	-300~-650	1.5~27	盘根 3 G* b7 _5 a2 Z1 T5 l5 P# |1 h
SZB	50年代苏联技术，效率低，能耗大，80年代初已被淘汰，主要应用于水泵引水，目前已被SK系列水环泵替代。 + l: y/ }' {# }0 U  r1 k	-600   w" P$ v. X: N% q( n	-300~-550   c  B/ c! ^  J% d" J; i% G	0.33~0.66 + Q! R5 a$ v* |! q	盘根 + F- V5 U, T, g
2SY 7 W% {  |) e3 c# _0 j	主要应用于水环压缩机，最大排气压强为0.6MPa ( C) y$ |6 o6 l# ^/ c  R+ v1 k	-	- 8 ?8 \8 a7 e8 r/ j4 ^	6~30	机械密封 ) b5 a6 K  A% f- w+ y) a0 j
2YK	结构基本与2SK系列相同，可以用被抽介质作为工作液，极限真空度随被抽介质的饱合蒸气压而改变。表中极限真空度为工作介质为变压器油时的极限真空度。 ; N5 _& C5 x. q- q( v, P	-755	-300~-720 1 v. Z0 h' w) Y; ~- g! `	1.5~30	机械密封

xysun2006

谢谢，感谢楼主分享啊！