|
|
马上注册，结识高手，享用更多资源，轻松玩转三维网社区。
您需要 登录 才可以下载或查看，没有帐号？注册
x
高功率紫外激光切割铜薄膜的实验研究38 r9 _% e4 }! \$ n, w X4 W" e
阳建华 张 帅 陈继民
7 Z( I w, g; r0 q1 @/ R3 N(北京工业大学激光工程研究院 北京100022)
, b/ Z; t% {4 y. H 提要 通过改变气氛条件及加工工艺参数,研究高功率紫外激光切割铜薄膜的切割性能及影响因素,并且利用正交实验1 {3 t ?8 P1 F% k3 T! u( N; j
设计的方法,确定了影响切缝宽度和切割质量的主次因素。在实验的基础上,成功的利用高功率三倍频紫外激光制作出高质
2 n6 {( A4 S B8 Q3 L0 J0 L量的铜质薄膜器件。
2 ^* b% |$ w; f6 f3 w 关键词 紫外激光 微加工 掩膜 激光切割 |
|
发表于 2006-10-8 19:55:56
