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硅基材料成为硅材料工业发展的重要方向：# Y8 x" _- |( ?7 }3 ^9 J: `- S
随着光电子和通信产业的发展，硅基材料成为硅材料工业发展的重要方向。硅基材料是在常规硅材料上制作的，是常规硅材料的发展和延续，其器件工艺与硅工艺相容。主要的硅基材料包括SOI（绝缘体上硅）、GeSi和应力硅。目前SOI技术已开始在世界上被广泛使用，SOI材料约占整个半导体材料市场的30%左右，预计到2010年将占到50%左右的市场。Soitec公司（世界最大的SOI生产商）的 2000年～2010年SOI市场预测以及2005年各尺寸SOI硅片比重预测了产业的发展前景。
发表于 2008-12-18 15:00:40
楼主
:) :)