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真空镀膜机的原理及故障分析- l" ]- F$ [" \8 l
陈敏 王存华; R c4 C4 G. ]- x' }, ?
(南京电子器件研究所 南京 ) " ]' I2 L/ ~; \7 _/ r- g; e) Z# ~ }2 y
2002年4月/ q* Z. Z' H/ l1 N7 z
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) |/ I) U3 ? S, q J摘要:真空镀膜设备是电子工业元器件生产和研制过程中广泛使用的设备,本文就DMF-700电子束真空镀膜设备在实际工作中出现的主要故障进行分析,并给出故障排查的方法。, G; \' B C9 A3 p$ b: ?/ J$ W
' ^5 u$ k; [4 K关键词：真空镀膜 高压电源 维修
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/ J% d/ K( i6 O) u' v4 z中图分类号：TN305.8 文献标识码:A
6 ]7 G4 O) b" e+ W( ~! t; o文章编号:1005-488x(2002)02-0114-05 |
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发表于 2007-11-4 11:54:37
