真空泵的选择

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真空泵的选择

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! z; s. ~/ X0 V6 W- Y9 e/ q0 M选用真空泵时，需要注意下列事项：    1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
    2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。
$ L( S" d6 C+ |6 Y- M5 d+ ~. s  h    3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
    4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
    5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。
( M. I% t' ^4 l0 L    6、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。
    7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。
    8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
2 i9 z$ g( O7 x  Y8 V    9、真空泵的价格、运转及维修费用。

水环式真空泵的选择

一、泵类型的确定
　　泵的类型主要由工作所需的气量、真空度或排气压力而定。
6 m% @7 I. h, ]/ q$ M% Q- E　　泵工作时，需要注意以下两个方面：
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• 尽可能要求在高效区内，也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。
• 应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行。在此区域内运行，不仅效率极低，而且工作很不稳定，易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言，在此区域之内运行，往往还会发生汽蚀现象，产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏，以致泵无法工作。

　　根据以上原则，当泵所需的真空度或气体压力不高时，可优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压力较高，单级泵往往不能满足，或者，要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量，即要求性能曲线在较高真空度时较平坦，可选用两级泵。如果真空度要求在－710mmHg以上，可选用水环－大气泵或水环－罗茨真空机组作为抽真空装置。
二、根据系统所需的气量选择真空泵
) a' {1 w: q( Y6 _初步选定了泵的类型之后，对于真空泵，还要根据系统所需的气量来选用泵的型号。
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6 I  M* B! L0 {/ T　　面对各种型式的水环式真空泵及压缩机，我们特将其各自特点收集如下，以利于用户选型

代号 - u& r# w) f! V& o% |	主要特点 % Q1 W4 C6 i4 j	极限真空度 mmHg ( Y( G; h# f. r2 j) T& c	工作真空度 mmHg 5 P9 g) r& J7 l9 l  M	抽速范围 + z" T9 ?: ]9 @* Q! y9 m# e4 o! cm3/min	密封形式
SK	国内设计单级水环真空泵，结构简单、维修方便。目前国内主流的低真空水环式真空泵。	-700 ' _: G" h! c/ j+ n0 D3 a	-300~-650	0.15~120	盘根、 " ]5 A5 y- K0 U% s1 f8 R机械密封 1 s0 [% e5 V3 s" X2 V
2SK	国内设计双级水环真空泵，相当于两台SK水环泵串联使用，比较单级水环泵具有真空度高及高真空下抽速较大的特点。目前国内主流水环式真空泵。	-735	-300~-700 ' t" }& k( m$ r1 t" O( z1 o	1.5~30	盘根、 机械密封
2BV 0 y( Y2 K! f' C( b2 g/ D	采用西门子先进技术，机泵同轴，结构紧凑，效率高，真空度高，性能稳定，将逐渐替代SK、2SK系列0.4~6m3/min抽速的水环真空泵。	-735	-300~-700	0.45~8.33	机械密封
2BE1	采用西门子先进技术，效率高，真空度高，性能稳定，将逐渐替代SK、2SK系列6~120m3/min抽速的水环真空泵。 * z8 X9 @2 j- \9 a	-735 $ f3 a. ?" a* A9 a0 D-640 " y$ u, g( ?, X* Q6 R0 b8 |	-300~-700 -300~-600	5~400 ) K# m3 l: j6 Z+ _% T	盘根、 7 {) y- ]" R; ^机械密封 ; e. |# C! C+ Q# Z- D/ F
SZ	50年代苏联技术，效率低，能耗大，80年代初已被淘汰，主要应用于老用户。	-640~-700	-300~-650	1.5~27 , g+ x" {( O5 p( s	盘根 4 [$ p2 ~) @/ A
SZB	50年代苏联技术，效率低，能耗大，80年代初已被淘汰，主要应用于水泵引水，目前已被SK系列水环泵替代。 ) b2 S# m$ I9 p7 @	-600 9 w7 x$ h: V( z/ e& s: C  q. c	-300~-550 9 `8 p2 s: _5 t! E8 y0 C	0.33~0.66 * `; `; b) i( z5 Z) A	盘根   }5 l- `4 P0 F* l8 F
2SY	主要应用于水环压缩机，最大排气压强为0.6MPa	-	- 3 o0 ]; F* ]  }& u( ?	6~30	机械密封
2YK	结构基本与2SK系列相同，可以用被抽介质作为工作液，极限真空度随被抽介质的饱合蒸气压而改变。表中极限真空度为工作介质为变压器油时的极限真空度。	-755 ! V# _5 E4 B/ \( p* ~& k8 G# k& H. ~& D	-300~-720 3 U2 w# ]! a5 |% B+ f7 @	1.5~30	机械密封 * m  l: A- G7 p4 Z9 O

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xysun2006

谢谢，感谢楼主分享啊！