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高功率紫外激光切割铜薄膜的实验研究3
/ [: D& u! A5 Z阳建华 张 帅 陈继民9 R$ D, `0 P9 W7 x3 K' a# w4 P+ L
(北京工业大学激光工程研究院 北京100022)5 |3 a8 L& ~7 v% O
提要 通过改变气氛条件及加工工艺参数,研究高功率紫外激光切割铜薄膜的切割性能及影响因素,并且利用正交实验
5 d+ _# Q3 x4 y设计的方法,确定了影响切缝宽度和切割质量的主次因素。在实验的基础上,成功的利用高功率三倍频紫外激光制作出高质2 L. ~* ?: _0 R2 `- a3 x
量的铜质薄膜器件。
3 B- ?* z; K M 关键词 紫外激光 微加工 掩膜 激光切割 |
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发表于 2006-10-8 19:55:56
